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详细说明

HMDS烘箱/涂膠預處理烘箱/HMDS預處理烘箱





 晶圓勻膠前襯底助黏、“增附”處理

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規格參數

型號

HMDS

工作方式

立體環繞壁面加熱

性能

溫度控制范圍

室溫+10℃~250℃

真空度

絕對真空

0.1KPa~101.325KPa(標準大氣壓1atm)

相對真空

-101.225KPa~0KPa(標準大氣壓1atm)

溫度控制精度

±0.1℃

溫度波動度

±0.5℃

升溫速度

室溫~200℃小于30分鐘

規格

內尺寸(寬XXmm

W450*D450*H450mm(可依需求定制)

外尺寸(寬XXmm

W1100*D900*H1600mm

容積

91L

層架承重

30KG

真空泵

干式真空泵4L/S

氮氣接口

Φ8

電源

380V 50HZ

功率

3.5KW

重量

200KG

結構

工作室

304不銹鋼板

外殼

A3鋼板&化學防腐蝕涂裝

隔熱層

硅酸鋁纖維

加熱器

不銹鋼異形加熱器

控制器

顯示方式

7寸觸摸屏

設定方式

人機界面選擇工藝(可自由設置工藝參數)

運行方式

PLC控制自動運行

加熱控制方式

PLC+固態繼電器SSR控制

溫度傳感器

不銹鋼鎧裝PT100

真空控制方式

PLC+VRS

壓力傳感器

數字壓力傳感器

藥液控制

PLC+VRS

附屬功能

AT自整定 誤差修正 密碼鎖屏 斷電保持 藥液液位報警 工藝完成報警

安全裝置

故障自診斷 超溫保護 漏電保護 接地保護 按鍵鎖

附屬

層架

2片不銹鋼層架

選購

  獨立限溫保護器 多點溫度監控系統 第三方計量校準 其他尺寸定制

參照標準

GBT 29251-2012 《真空干燥箱\GB50056-93《電熱設備電力裝置設計規范》


詳細說明

對于大部分光刻膠與Si襯底而言,其粘附性一般都是不錯的,但是在光刻中,通常會用到一些例如藍寶石、氮化鎵、砷化鎵甚至是貴金屬薄膜等襯底,這類襯底與光刻膠的粘附性往往不怎么理想,這會導致后續的光刻顯影環節出現“裂紋”甚至是漂膠等問題。因此必須通過工藝手段改善,這個步驟我們叫做增附處理或者叫做助黏。

以石英、玻璃或硅表面的氧化物(自然氧化)的形式存在的二氧化硅以及大多數金屬在暴露于大氣中在一定的下濕度足夠長時間后在其表面形成極性OH鍵。這種襯底是親水性的,因此對光刻膠的非極性或低極性樹脂分子具有較差的親和力。為了使這樣的襯底表面具有疏水性,可以用化學方法將HMDS等非極性分子附著在其表面上。

HMDS與Si原子在無氧表面結合,與氧化基表面的氧原子(如有必要,OH基團分解)結合,釋放出氨。非極性甲基直接隔離襯底表面形成疏水表面,與光刻膠具有良好的潤濕性和附著力。

工作原理:

在室溫下,HMDS蒸汽通過干燥的氮氣在“起泡器”中運輸,然后傳遞到加熱的(75-120°C)基質中,在襯底表面上HMDS作為單層膜進行化學結合。

如果液體的HMDS被直接旋涂在襯底上,HMDS層只能起到物理上的粘附層的作用,并不能改善粘附性;其次,HMDS層在前烘過程中釋放出氨,從襯底附近的進入交聯的光刻膠層中,從而抑制顯影過程。

產品特性:

外觀結構:

★外殼采用A3冷軋鋼板裁剪、打磨、酸洗、磷化等表面防銹處理后烤漆,工作室采用SUS316#潔凈不銹鋼板滿焊、耐高溫密封處理,加強型結構,確保箱體高壓無形變。

★工作室高氣密性,氣體泄漏量可達100pa/h。

★雙層防爆鋼化玻璃觀測窗,10mm防彈防爆玻璃內門。

★隔熱層采用100mm厚100K高密度硅酸鋁纖維保溫材料,保溫效果極佳。

★門框密封采用無氟硅橡膠密封條,耐高溫,抗老化。

溫控系統:

★不銹鋼異性加熱器,環繞工作室外壁,四面加熱。

★7寸人機界面,PLC+PID+SSR控制,SSR無觸點等周期脈沖調寬,PID智能演算,自動恒溫,超溫抑制,傳感器斷線警報,斷電記憶,控溫精準,操控簡便。

★可依工藝設置多種運行模式

高精度A級PT100不銹鋼鎧裝鉑金電阻溫度傳感器

安全系統:

★按鍵鎖

★HMDS液位報警

★超溫保護

★電流過載保護

★相序保護

★漏電保護

★接地保護

愛義信工業科技(山東)有限責任公司

電話:0531-88073575     

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